533系列多轉(zhuǎn)隔膜閥
規(guī)格：533系列多轉(zhuǎn)隔膜閥
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533系列多轉(zhuǎn)隔膜閥,最大壓力3300PSIG
產(chǎn)品詳細(xì)描述
533系列多轉(zhuǎn)隔膜閥
533系列隔膜閥適用于高純或腐蝕性氣體系統(tǒng)的初級(jí)流量控制。獨(dú)特的設(shè)計(jì)允許對(duì)氣體任意方向低力矩(輕松)操作。可以用多轉(zhuǎn)型號(hào)實(shí)現(xiàn)流量控制，而¼ 轉(zhuǎn)型號(hào)可以快速動(dòng)作并指示on/off位置。帶方向的箭頭可以用于指示壓力。美國(guó)CONCOA公司的這種533-3系列多轉(zhuǎn)隔膜閥，對(duì)超高純半導(dǎo)體應(yīng)用，包含高壓過程管道、氣柜或閥匯流排箱柜來說，是非常理想的隔膜閥。
主要特征
- 金屬對(duì)金屬隔膜密封防止污染
- 雙向操作確保在所有壓力甚至真空情況下，完全控制
- 無彈簧設(shè)計(jì)及低氣體接觸表面區(qū)域是的顆粒生成最小化
- 光譜氦氣泄漏檢查驗(yàn)證泄漏完整性
主要參數(shù)
- 最大入口壓力: 3500 PSIG (240 BAR)
- 閥體和連接: 黃銅棒；316L不銹鋼；鍍鉻黃銅棒或 到閥的硅CVD涂層塊
- 閥座: PCTFE
- 溫度范圍: -40~140°F (-40~ 60°C)
- 隔膜材料: Elgiloy®
- Cv: 0.17
- 氦氣泄漏率: 1 x 10⁻⁹ scc/sec
- 密封: 金屬對(duì)金屬
- 重量: 0.66 lbs (0.3 kg)
- 符合性: 清潔滿足或超過CGA G-4.1; CRN OC20418.5
選型信息表
| 533-3 | B | C | D |
| 系列 | 流量控制方向 | 材料 | 連接 |
| 0: 多轉(zhuǎn) 右到左 | 2: 黃銅 | 0: ¼”FNPT x ¼”FNPT | |
| 2: 多轉(zhuǎn) 左到右* | 4: 316L不銹鋼 | 1: 6mm管接頭 x 6mm管接頭 | |
| 5:Silconert™ 1020 | 2: ¼” 管接頭 x ¼” 管接頭 | ||
| *僅適用于D=3,7,8,9 | 9:鍍鉻黃銅 | 3: ¼”MNPT (延長(zhǎng)段) x ¼”管接頭 | |
| 4: ¼”MNPTx ¼”MNPT | |||
| 7: ¼”MNPTx 6mm管接頭 | |||
| 8: ¼”MNPT (延長(zhǎng)段) x ⅛”管接頭 | |||
| 9: ¼”MNPT (延長(zhǎng)段) x ¼”FNPT |
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